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靜電卡盤

靜電吸附技術在泛半導體、光學等領域中有著廣泛應用。靜電卡盤(E-CHUCK)是一種適用于真空及等離子體工況環境的超潔凈晶圓片承載體,它利用靜電吸附原理進行超薄晶圓片的平整均勻夾持,是PVD、ETCH、離子注入等高端裝備的核心部件。
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